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Aerotech

XYZ壓電定位平台提供優異的3D定位精度

XYZ壓電定位平台提供優異的3D定位精度

行程範圍達120μm×120μm×12μm

40 x 40mm方形中空孔徑

專利申請中的並聯式驅動設計可提供無與倫比的幾何性能

直接量測的電容式位移感測器擁有優異的定位解析度和線性度


美商艾羅德克有限公司(Aerotech)最新推出的QNP3系列XYZ壓電平台是一款結合了次奈米級解析度、高動態特性和出色的幾何性能的微型三自由度(DoF)定位系統。它們擁有40 mm x 40 mm的中空孔徑,閉迴路行
程可達100μmx 100μmx 10μm(開迴路行程為120μm×120μm×12μm)。該設計是光學顯微鏡和掃描式探
針顯微鏡或其他檢測或製造應用的理想選擇,另外也可用於雙面加工的特殊製程類型。

精密並聯式運動學設計
QNP3壓電平台使用最佳化的有限元素分析(FEA) 進行精密並聯式運動學設計,搭配撓性軸承和直接回饋
裝置,以確保優異的多軸精度,最高剛性與長時間的設備使用壽命。高剛性和共振頻率還可帶來更高的產能和更快的閉迴路響應速度。

專利申請中的這款並聯式驅動設計可以大幅度減少X和Y軸的偏航誤差,同時擁有符合阿貝原理的直接量測系統。此設計在整個XY軸行程空間中產生了最優異的定位性能。其Z軸致動器和電容式位移計為專為垂直方向提供最低幾何公差。

次奈米級性能

QNP3定位平台擁有閉迴路或開迴路回饋裝置。獨特的電容式位移感測器與並聯式的設計可直接測量定位機構的位移量,同時擁有次奈米級解析度,線性誤差優於0.01%,還具有個位數奈米重複性。

超精密控制

當與Aerotech公司Q系列控制器和驅動器整合時,QNP3定位平台展示了其次奈米級定位解析度和定位穩定性(Jitter)的特性,同時保持較高的定位頻寬。Aerotech同時提供擁有高階控制軟體功能,如動態控制工具箱和圖形化軌跡產生器,與各種高效率且易於使用的工具,包括疊代學習控制,週期誤差消除和命令塑型功能,因此可提供更佳的動態跟隨性與最短的位移整定時間時間。驅動器提供OEM版本供設備商或系統商進行系統整合。

可選擇的設計
可選的安裝底座可直接安裝到英制或公制光學桌上,另外也可選配上安裝面使用。QNP3壓電定位平台還可根據要求客製化材質與真空版本。

欲瞭解更多資訊,請致電412-967-6854(直接聯繫)Steve McLane,或發送電子郵件至  This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. 。此外,可通過以下網址獲取QNP3系列數據表: https://www.aerotech.com/product-catalog/piezo-nanopositioners/qnp3-100-xyaz.aspx

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